آلة طلاء فراغي بالتبخير من نوع شعاع الإلكترون PVD لطلاء العدسات البصرية
آلة طلاء PVD بشعاع إلكتروني
,آلة طلاء الفراغ للعدسات
,آلة طلاء التبخير للعدسات البصرية
التعبئة والتسليم
Lion Kingآلة طلاء بصرية بالحزمة الإلكترونية
نظرة عامة على التكنولوجيا
آلة الطلاء البصرية بالحزمة الإلكترونية هي معدات أساسية في مجال التصنيع البصري الدقيق. تستخدم حزم الإلكترونات عالية الطاقة لإذابة وتبخير وتأيين المواد البصرية ذات درجة الانصهار العالية، ثم تودع المواد المتبخرة على سطح الركائز لتشكيل أغشية بصرية فائقة الرقة وموحدة وعالية الأداء. تستخدم هذه الأغشية على نطاق واسع في المكونات البصرية مثل أغشية مضادة للانعكاس، وأغشية عالية الانعكاس، وأغشية المرشح، وأغشية الاستقطاب، والتي تعتبر ضرورية للأجهزة في صناعات مثل البصريات والإلكترونيات والفضاء وأشباه الموصلات.
مبدأ العمل
إنشاء بيئة فراغ
تتم عملية الطلاء بأكملها في غرفة ذات فراغ عالٍ. تخدم هذه البيئة غرضين حاسمين:
يمنع المادة المتبخرة من التفاعل مع الهواء أو الانتشار بواسطة جزيئات الغاز، مما يضمن نقاء الفيلم.
يقلل من التصادم بين ذرات/جزيئات البخار وجزيئات الغاز، مما يسمح للبخار بالوصول إلى الركيزة بسلاسة وتشكيل فيلم كثيف.
توليد وتسريع الحزمة الإلكترونية
تولد بندقية إلكترونية الإلكترونات من خلال الانبعاث الحراري. ثم يتم تسريع الإلكترونات بواسطة مجال كهربائي عالي الجهد للحصول على طاقة حركية عالية.
تسخين وتبخير مادة الهدف
يتم تركيز الحزمة الإلكترونية عالية الطاقة بواسطة عدسة مغناطيسية وتوجيهها إلى سطح مادة الهدف. تتحول الطاقة الحركية للإلكترونات إلى طاقة حرارية عند الاصطدام بالهدف، مما يؤدي إلى تسخين المادة بسرعة إلى درجة حرارة التبخر (حتى بالنسبة للمواد التي تزيد نقاط انصهارها عن 2000 درجة مئوية، مثل الألومينا. ثم تتبخر المادة إلى بخار عالي الكثافة يتكون من ذرات أو جزيئات أو أيونات.
ترسيب البخار وتكوين الفيلم
تتحرك جزيئات المادة المتبخرة في خط مستقيم في غرفة الفراغ وتترسب على سطح الركيزة الدوارة. مع تراكم الجزيئات، فإنها تشكل طبقة رقيقة ذات هيكل وخصائص بصرية محددة.
المراقبة والتحكم في الموقع
أثناء عملية الطلاء، يتم استخدام ميزان بلوري كوارتز أو نظام مراقبة بصرية لتتبع سمك الفيلم ومعامل الانكسار في الوقت الفعلي. يقوم النظام بإعادة البيانات إلى وحدة التحكم، والتي تضبط معلمات مثل طاقة الحزمة الإلكترونية ودرجة حرارة الركيزة ومعدل الترسيب لضمان أن الفيلم يلبي متطلبات التصميم.
المزايا الرئيسية
كفاءة التبخر العالية للمواد ذات درجة الانصهار العالية
تقوم الحزم الإلكترونية بتسخين الهدف مباشرة، مما يتيح تبخر المواد التي تزيد درجة انصهارها عن 3000 درجة مئوية.
نقاء الفيلم العالي
تقلل بيئة الفراغ والتسخين غير التلامسي من الشوائب في الفيلم.
التحكم الدقيق في السُمك
تسمح أنظمة المراقبة في الموقع وطاقة الحزمة الإلكترونية القابلة للتعديل بدقة التحكم في سمك الفيلم تصل إلى ±0.1 نانومتر، مما يلبي متطلبات الأفلام البصرية متعددة الطبقات.
توافق المواد الواسع
متوافق مع الأكاسيد والفلوريدات والمعادن وحتى السيراميك، مما يوسع نطاقات التطبيق.
معدل الترسيب العالي
يمكن أن تصل معدلات الترسيب إلى 1–10 نانومتر/ثانية، مما يحسن كفاءة الإنتاج للمكونات البصرية ذات الدُفعات الكبيرة.
الصناعات المطبقة
الاتصالات البصرية
طلاء الأغشية الرقيقة للألياف البصرية والمقرنات البصرية، مما يضمن فقدان إشارة منخفض أثناء انتقال الضوء.
الإلكترونيات الاستهلاكية
أغشية مضادة للانعكاس (AR) لشاشات الهواتف الذكية/أجهزة الكمبيوتر المحمولة. مرشحات الأشعة تحت الحمراء (IR) لوحدات الكاميرا.
الفضاء والدفاع
أغشية عالية الانعكاس لتلسكوبات الأقمار الصناعية البصرية. أغشية بصرية مضادة للتجمد والضباب للزجاج الأمامي للطائرات.
أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية
أغشية عازلة للرقائق الدقيقة. طلاءات الأغشية الرقيقة للديودات الباعثة للضوء.
آلة الطلاء البصري الفراغي منخفضة التكلفة مع التحكم التلقائي الكامل وتقنية طلاء الشعاع الإلكتروني
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
آلة طلاء شعاع الإلكترون الضوئي مع مراقبة دقيقة وحجم غرفة مخصص ومواد طلاء عالية النقاء
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
آلة طلاء تبخير شعاع الإلكترونات الدقيقة عالية للطبقات متعددة الطرق للطلاء البصري
Small Electron Beam Evaporation Coating Machines Core Technical Specifications Parameter Category Details Substrate Capacity Max size: Up to 6-inch (150mm); Compatible with 2"/4"/6" wafers/optical components; Min size: 10×10mm Vacuum Performance Ultimate vacuum: ≤ 1×10⁻⁶ Torr (1.3×10⁻⁴ Pa); Pumping ...
آلات طلاء العدسات البصرية أجهزة طلاء الشعاع الإلكتروني الفراغية لطلاء العدسات المعدنية
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
