PLC制御とカスタマイズ可能な色を備えた、自動車およびキッチン用品向けの高速コーティング速度マグネトロンスパッタコーター
高速成膜速度マグネトロンスパッタリングコータ
,PLC制御マグネトロンスパッタリングシステム
,カスタマイズ可能な色の真空コーティング機
| モデル | ライオン-12515 | ライオン1820年 | ライオン2323 | ライオン2345 | ライオン2368 |
|---|---|---|---|---|---|
| 部屋の大きさ (mm) | D1250×H1500 | D1800×H2000 | D2300×H2300 | D2300-2500 × H4500 | D2300-2500 × H6800 |
| アーク | 10 | 18 | 22 | 40から42 | 58から62 |
| アークパワー | 200A | ||||
| バイアスパワー | 30KW~120KW | ||||
| ガス | Ar,N2,C2H2,O2 | ||||
| 冷却 | 産業用冷却塔,水冷却機,または冷凍システムによる冷却水循環 | ||||
| バキューム インデックス | 抽出時間 (負荷なし冷たい状態):大気から9.9×10−3Pa ≤10分 | ||||
| 究極の真空 | 5.0×10−4Pa以上 | ||||
| 圧力 が 増える | 新しい機械の冷却状態の空気の漏れ率 ≤0.5Pa/h | ||||
| 職業 | 10 | 15 | 18 | 50 | 75 |
- 均質で密度の高いフィルムを 特殊な粘着性で作る
- 水冷却対象は放射線熱発生を最小限に抑える
- ほぼすべての金属標的材料と互換性がある
- RFまたはMF電力を使って非伝導性物質を噴射する能力
- 優れた層均一性と滑らかなコーティング表面
| フィルムタイプ | 典型的な用途 |
|---|---|
| メタル&合金フィルム | 半導体相互接続,電子装置の電極 |
| 隔熱フィルム | 電子部品のパッケージ,光学装置の基板 |
| オプティカルフィルム | レンズ,ディスプレイ,光学フィルター |
| 装飾 保護 フィルム | 宝石,硬貨,切削道具,模具 |
| 機能的な複合フィルム | 電子ディスプレイ,医療機器,新しいエネルギー製品 |
- フィルム層の欠陥を大幅に減らす
- ターゲット材料の利用率を20%から45%に増加させる
- 目標材料の消費量を40%削減する
- 希少金属のコストを30%削減
- 10nm/s までの堆積速度を達成する
- 複合フィルム堆積中に標的中毒を防ぐ
高精度DCマグネトロンスパッタリング装置、カスタマイズ可能なサイズと金属・ガラス用多層コーティング
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Magnetron Sputtering Technology Overview Magnetron sputtering is a versatile Physical Vapor Deposition (PVD) technique widely used for depositing high-quality thin films on various substrates. It operates by ionizing a noble gas (e.g., argon) in a high-vacuum chamber (pressure < 10⁻³ Torr), creating ...
