Guangdong Zhongda Vacuum Equipment Co., Ltd.
+8613751829733

Obrączkowa maszyna do pokrycia wiązki elektronów wiązką elektronów

Obrączkowa maszyna do pokrycia wiązki elektronów wiązką elektronów
Miejsce pochodzenia:Zhaoqing, Guangdong
Nazwa marki:Zhongda
Orzecznictwo:CE
Minimalna ilość zamówienia:1
Czas dostawy:45-60 dni roboczych
Szczegóły produktu
Podkreślić:

Indywidualna maszyna do napylania elektronowego

,

urządzenia do pokrycia pierścieniowego wiązki elektronów

,

optyczny układ powlekania wiązki elektronów

Coating Substrate: Metal, szkło, ceramika, plastik
Coating Application: Dekoracyjne, funkcjonalne, ochronne
Machine Size: Możliwość dostosowania
Rotation Stand: 2 zestawy
Evaporation Material: Metal, stop, materiały organiczne
Cooling System: Chłodzenie wody
Coating Film Material: Au, Ag, Al, Cu, SiO2 itp.
Coating Chamber Size: Dostosowane
Coating Efficiency: Wysoki
Deposition Rate: Szybko
Vacuum Level: Wysoka próżnia
Coating Size: Możliwość dostosowania
Operation Way: Ekran dotykowy
Coating Temperature: ≤200 ℃
Guarantee Period: 1 rok
Operation Mode: Ręczne/automatyczne
Coating Deposition Rate: Nastawny
Opis produktu
Szczegółowe specyfikacje i cechy
I. Skład strukturalny
  • System obrączkowego pistoletu elektronicznego:włókna pierścieniowe (katodę), anodę, cewkę koncentrującą, cewkę deflekcyjną; katoda pierścieniowa emituje gorące elektrony, które są przyspieszane przez pole elektryczne, a koncentruje się i deflektuje pole magnetyczne,Precyzyjnie bombardując materiał wewnątrz kota.
  • System próżniowy: komora próżniowa, pompa mechaniczna, pompa molekularna/pompa kriogeniczna.
  • Źródło odparowania i ciernik:Chłodzony wodą żurawiec miedziany w celu zapobiegania parowaniu i reakcji materiałów żurawiec oraz zwiększenia czystości warstwy foliowej; obsługuje przełączanie wielostacji i odkładanie wielowarstwowej folii.
  • Etap podłoża:Może być podgrzewany/ochładzany wodą i może obracać się wokół słońca/na własnej osi w celu zapewnienia jednolitej grubości folii.
  • System sterowania:Wysokonapięciowe zasilanie, sterowanie wiązką, monitorowanie grubości folii (oscylator kryształowy), pomiar próżni i program automatyzacji, osiągający zamkniętą pętlę kontroli parametrów.
II. Zasada działania
  • Pojawienie wiązki elektronów i przyspieszenie:Gdy włókno toroidalne jest poddane elektryfikacji, emituje gorące elektrony, które są przyspieszane przez 5-10 kV wysokonapięciowe pole elektryczne w celu osiągnięcia wysokiej energii.
  • Skupienie i odchylenie:Węzeł elektromagnetyczny koncentruje i rozprasza wiązkę elektronów na powierzchni materiału docelowego wewnątrz tyglika, o gęstości energii, która może osiągnąć 106 do 107 W/cm2.
  • Parzenie i osadzenie:Energia kinetyczna wiązki elektronów jest przekształcana w energię cieplną, a materiał docelowy szybko nagrzewa się do punktu parowania i odparowuje.Atomy/cząsteczki fazy gazowej są transportowane w linii prostej do podłoża w wysokiej próżni i kondensowane w celu utworzenia jednolitej folii.
  • Kontrola procesu:Monitoring w czasie rzeczywistym szybkości osadzenia i grubości folii, dynamiczna regulacja prądu wiązki i mocy w celu zapewnienia stabilności procesu.
Iii. Główne cechy
  • Wysoka gęstość energii:Temperatura lokalna może osiągnąć 3000-6000°C i może odparowywać materiały o wysokim stopniu topnienia, takie jak wolfram, molibden i SiO2.
  • Niezwykle niskie zanieczyszczenie:Woda schłodzona w żurawicach zmniejsza zanieczyszczenie żurawia, a czystość warstwy foliowej może osiągnąć ponad 99,99%.
  • Skuteczność i szybkość:Wysoka wydajność termiczna, szybkość osadzenia 0,1-100 nm/s, wydajność równoważenia i jakość filmu.
  • Elastyczny proces:Podgrzewanie/obrócenie podłoża zwiększa kompaktowość i przyczepność warstwy filmu.
IV. Zalety
  • Szeroka elastyczność materiału:Kompatybilne z metalami, stopami, tlenkami, półprzewodnikami itp., szczególnie odpowiednie do materiałów ogniotrwałych.
  • Jakość warstwy filmowej jest doskonała:wysoka czystość, dobra gęstość i silna adhezja, spełniające wymagania urządzeń optycznych i elektronicznych o wysokiej precyzji.
  • Efektywność cenowa:Wysoki wskaźnik wykorzystania materiałów, zużycie energii skoncentrowane na materiałach docelowych i niższe długoterminowe koszty eksploatacji.
  • Wysoki stopień automatyzacji:Parametry są precyzyjnie sterowane z dobrą powtarzalnością, co sprawia, że nadaje się zarówno do badań naukowych, jak i do masowej produkcji.
V. Typowe zastosowania
  • Filmy optyczne:folie antyrefleksyjne (AR), folie o wysokim odbiciu, filtry, rozdzielacze wiązki, stosowane w okularach, aparatach fotograficznych, urządzeniach laserowych, ogniwach fotowoltaicznych.
  • Półprzewodniki i mikroelektronika:Elektrody metalowe (Al, Cu), warstwy dielektryczne (SiO2, Si3N4), folie czujnikowe.
  • Powierzchnia:folie dekoracyjne, folie przewodzące (ITO), powłoki odporne na korozję/odporne na zużycie, stosowane w przemyśle lotniczym, narzędziach i elektronikach użytkowych.
  • Badania naukowe i produkcja na małą skalę:Przygotowanie materiałów dla uniwersytetów i instytutów badawczych, a także filmów na zamówienie dla MEMS, urządzeń biomedycznych itp.
Wiadomość do szybkiej odpowiedzi
Powiązane produkty