<
>
Obrączkowa maszyna do pokrycia wiązki elektronów wiązką elektronów
Obrączkowa maszyna do pokrycia wiązki elektronów wiązką elektronów
Miejsce pochodzenia:Zhaoqing, Guangdong
Nazwa marki:Zhongda
Orzecznictwo:CE
Minimalna ilość zamówienia:1
Czas dostawy:45-60 dni roboczych
Szczegóły produktu
Podkreślić:
Indywidualna maszyna do napylania elektronowego
,urządzenia do pokrycia pierścieniowego wiązki elektronów
,optyczny układ powlekania wiązki elektronów
Coating Substrate:
Metal, szkło, ceramika, plastik
Coating Application:
Dekoracyjne, funkcjonalne, ochronne
Machine Size:
Możliwość dostosowania
Rotation Stand:
2 zestawy
Evaporation Material:
Metal, stop, materiały organiczne
Cooling System:
Chłodzenie wody
Coating Film Material:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2 itp.
Coating Chamber Size:
Dostosowane
Coating Efficiency:
Wysoki
Deposition Rate:
Szybko
Vacuum Level:
Wysoka próżnia
Coating Size:
Możliwość dostosowania
Operation Way:
Ekran dotykowy
Coating Temperature:
≤200 ℃
Guarantee Period:
1 rok
Operation Mode:
Ręczne/automatyczne
Coating Deposition Rate:
Nastawny
Opis produktu
Szczegółowe specyfikacje i cechy
I. Skład strukturalny
- System obrączkowego pistoletu elektronicznego:włókna pierścieniowe (katodę), anodę, cewkę koncentrującą, cewkę deflekcyjną; katoda pierścieniowa emituje gorące elektrony, które są przyspieszane przez pole elektryczne, a koncentruje się i deflektuje pole magnetyczne,Precyzyjnie bombardując materiał wewnątrz kota.
- System próżniowy: komora próżniowa, pompa mechaniczna, pompa molekularna/pompa kriogeniczna.
- Źródło odparowania i ciernik:Chłodzony wodą żurawiec miedziany w celu zapobiegania parowaniu i reakcji materiałów żurawiec oraz zwiększenia czystości warstwy foliowej; obsługuje przełączanie wielostacji i odkładanie wielowarstwowej folii.
- Etap podłoża:Może być podgrzewany/ochładzany wodą i może obracać się wokół słońca/na własnej osi w celu zapewnienia jednolitej grubości folii.
- System sterowania:Wysokonapięciowe zasilanie, sterowanie wiązką, monitorowanie grubości folii (oscylator kryształowy), pomiar próżni i program automatyzacji, osiągający zamkniętą pętlę kontroli parametrów.
II. Zasada działania
- Pojawienie wiązki elektronów i przyspieszenie:Gdy włókno toroidalne jest poddane elektryfikacji, emituje gorące elektrony, które są przyspieszane przez 5-10 kV wysokonapięciowe pole elektryczne w celu osiągnięcia wysokiej energii.
- Skupienie i odchylenie:Węzeł elektromagnetyczny koncentruje i rozprasza wiązkę elektronów na powierzchni materiału docelowego wewnątrz tyglika, o gęstości energii, która może osiągnąć 106 do 107 W/cm2.
- Parzenie i osadzenie:Energia kinetyczna wiązki elektronów jest przekształcana w energię cieplną, a materiał docelowy szybko nagrzewa się do punktu parowania i odparowuje.Atomy/cząsteczki fazy gazowej są transportowane w linii prostej do podłoża w wysokiej próżni i kondensowane w celu utworzenia jednolitej folii.
- Kontrola procesu:Monitoring w czasie rzeczywistym szybkości osadzenia i grubości folii, dynamiczna regulacja prądu wiązki i mocy w celu zapewnienia stabilności procesu.
Iii. Główne cechy
- Wysoka gęstość energii:Temperatura lokalna może osiągnąć 3000-6000°C i może odparowywać materiały o wysokim stopniu topnienia, takie jak wolfram, molibden i SiO2.
- Niezwykle niskie zanieczyszczenie:Woda schłodzona w żurawicach zmniejsza zanieczyszczenie żurawia, a czystość warstwy foliowej może osiągnąć ponad 99,99%.
- Skuteczność i szybkość:Wysoka wydajność termiczna, szybkość osadzenia 0,1-100 nm/s, wydajność równoważenia i jakość filmu.
- Elastyczny proces:Podgrzewanie/obrócenie podłoża zwiększa kompaktowość i przyczepność warstwy filmu.
IV. Zalety
- Szeroka elastyczność materiału:Kompatybilne z metalami, stopami, tlenkami, półprzewodnikami itp., szczególnie odpowiednie do materiałów ogniotrwałych.
- Jakość warstwy filmowej jest doskonała:wysoka czystość, dobra gęstość i silna adhezja, spełniające wymagania urządzeń optycznych i elektronicznych o wysokiej precyzji.
- Efektywność cenowa:Wysoki wskaźnik wykorzystania materiałów, zużycie energii skoncentrowane na materiałach docelowych i niższe długoterminowe koszty eksploatacji.
- Wysoki stopień automatyzacji:Parametry są precyzyjnie sterowane z dobrą powtarzalnością, co sprawia, że nadaje się zarówno do badań naukowych, jak i do masowej produkcji.
V. Typowe zastosowania
- Filmy optyczne:folie antyrefleksyjne (AR), folie o wysokim odbiciu, filtry, rozdzielacze wiązki, stosowane w okularach, aparatach fotograficznych, urządzeniach laserowych, ogniwach fotowoltaicznych.
- Półprzewodniki i mikroelektronika:Elektrody metalowe (Al, Cu), warstwy dielektryczne (SiO2, Si3N4), folie czujnikowe.
- Powierzchnia:folie dekoracyjne, folie przewodzące (ITO), powłoki odporne na korozję/odporne na zużycie, stosowane w przemyśle lotniczym, narzędziach i elektronikach użytkowych.
- Badania naukowe i produkcja na małą skalę:Przygotowanie materiałów dla uniwersytetów i instytutów badawczych, a także filmów na zamówienie dla MEMS, urządzeń biomedycznych itp.
Wiadomość do szybkiej odpowiedzi
Powiązane produkty