เครื่องเคลือบผิวด้วยการสปัตเตอร์แบบแมกนีตรอนความถี่กลาง, เครื่องเคลือบสูญญากาศ PVD

บทนำอุปกรณ์
ใช้แหล่งจ่ายไฟความถี่กลาง (โดยทั่วไป 10-150 KHZ) เป็นแหล่งพลังงาน การเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนถูกจำกัดด้วยสนามแม่เหล็กเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการแตกตัวเป็นไอออนของก๊าซ ทำให้อะตอมหรือโมเลกุลของวัสดุเป้าหมายถูกสปัตเตอร์และสะสมบนพื้นผิวของพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์ม

คุณสมบัติหลัก
1. ขับเคลื่อนด้วยแหล่งจ่ายไฟความถี่กลาง ซึ่งช่วยลดปรากฏการณ์การปล่อยประจุไฟฟ้าในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์แบบรีแอคทีฟได้อย่างมีประสิทธิภาพ และรับประกันเสถียรภาพของกระบวนการเคลือบ

2. รองรับการทำงานกำลังสูง ด้วยอัตราการสปัตเตอร์เป้าหมายที่รวดเร็ว ซึ่งสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและตอบสนองความต้องการของการผลิตจำนวนมาก

3. มีความเข้ากันได้สูงและสามารถใช้วัสดุเป้าหมายต่างๆ เช่น เป้าหมายโลหะและเป้าหมายเซรามิก เพื่อเตรียมฟิล์มฟังก์ชันหลายประเภท

4. ความสม่ำเสมอของการเคลือบดี การยึดเกาะของฟิล์มแข็งแรง คุณภาพของชั้นฟิล์มมีความเสถียร และสามารถควบคุมความหนาของฟิล์มได้อย่างแม่นยำ

ข้อได้เปรียบหลัก1. แก้ปัญหาการสะสมประจุในระหว่างวัสดุเป้าหมายที่เป็นฉนวนหรือการสปัตเตอร์แบบรีแอคทีฟ ลดข้อบกพร่องของชั้นฟิล์ม
2. อัตราการสปัตเตอร์สูง ใช้พลังงานน้อยลง ประสิทธิภาพสูง และประหยัดพลังงาน

3. ชั้นฟิล์มมีความหนาแน่นและความบริสุทธิ์สูง และมีประสิทธิภาพโดดเด่นในตัวบ่งชี้สำคัญ เช่น คุณสมบัติทางแสงและทางกล

4. ทำงานได้อย่างเสถียรและเชื่อถือได้ โดยมีค่าบำรุงรักษาค่อนข้างต่ำ

การประยุกต์ใช้งาน

สาขาออปติก

1. ใช้สำหรับการเตรียมฟิล์มแสง เช่น ฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสงและฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสงสำหรับเลนส์แว่นตา
2. ผลิตฟิล์มกรองแสงและฟิล์มนำไฟฟ้าสำหรับอุปกรณ์แสดงผล เช่น LCD และ OLED

3. การผลิตฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสงและฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใสสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์

สาขาอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์

1. เตรียมฟิล์มโลหะสำหรับชิปเซมิคอนดักเตอร์ (เช่น ฟิล์มอะลูมิเนียมและฟิล์มทองแดง)
2. ฟิล์มฟังก์ชันสำหรับการผลิตส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ เช่น ตัวเก็บประจุและเซ็นเซอร์

3. ทำฟิล์มออกไซด์นำไฟฟ้าโปร่งใส (TCO) สำหรับหน้าจอสัมผัส

สาขาการตกแต่งและรูปลักษณ์

1. ใช้ฟิล์มตกแต่ง (เช่น ฟิล์มไทเทเนียมทองคำและฟิล์มเซอร์โคเนียม) กับฮาร์ดแวร์และวัสดุก่อสร้าง (เช่น ประตูและหน้าต่าง อุปกรณ์ในห้องน้ำ)
2. ใช้กับการเคลือบชิ้นส่วนยานยนต์ (เช่น ล้อและชิ้นส่วนภายใน)

3. ใช้ฟิล์มสีและฟิล์มป้องกันรอยนิ้วมือกับเปลือกโทรศัพท์มือถือและเครื่องใช้ในบ้าน

สาขาเครื่องมือและแม่พิมพ์

1. เคลือบฟิล์มแข็ง (เช่น ฟิล์ม TiN และ TiAlN) สำหรับเครื่องมือตัดและแม่พิมพ์
2. ใช้สำหรับการเคลือบส่วนประกอบของเครื่องมือที่มีความแม่นยำ

สาขาพิเศษอื่นๆ

1. เตรียมฟิล์มป้องกันการกัดกร่อนและนำไปใช้กับส่วนประกอบของวิศวกรรมทางทะเลและอุปกรณ์เคมี

2. ผลิตฟิล์มปรับสภาพพื้นผิวสำหรับวัสดุชีวการแพทย์ (เช่น ฟิล์มต้านเชื้อแบคทีเรียสำหรับรากฟันเทียมโลหะผสมไทเทเนียม)

3. เคลือบฟิล์มกั้นบนวัสดุบรรจุภัณฑ์สามารถเพิ่มความทนทานต่อออกซิเจนและความชื้น ซึ่งจะช่วยยืดอายุการเก็บรักษาของผลิตภัณฑ์